"Доставка и въвеждане в експлоатация на високотехнологично оборудване за екологични многослойни наноструктурирани покрития с многофункционални приложения, получени чрез разбалансирано магнетронно разпрашване"

Централна лаборатория по приложна физика към БАН

Доставка и въвеждане в експлоатация на: "Високотехнологично оборудване за екологични многослойни наноструктурирани покрития с многофункционални приложения, получени чрез разбалансирано магнетронно разпрашване".
Под „оборудване” се разбира машина, състояща се от модули и системи, обединени в едно цяло за осъществяване на една обща функция, а именно, нанасяне на тънки слоеве и покрития по метода на разбалансирано магнетронно разпрашване.
I. Общи изисквания към оборудването.
Оборудването трябва да е ново и неупотребявано и следва да се придружава от изисканите от Възложителя сертификати и други документи, посочени в документацията за участие.
Оборудването трябва да позволява:
— Реализацията на монослоеве, мултислоеве, нанослоеве, наноструктурирани и наноградиентни слоеве и комбинации от тях, използвайки следните материали и техните сплави: титан, хром, алуминий, силиций, въглерод, и газовете - азот, аргон, метан или ацетилен.
— Бързо и лесно закрепване на образците във вакуумната камера;
— Автоматично стартиране, провеждане и спиране на технологичния процес по всяко време;
— Пълен контрол на зададените параметри и запис на цялата информация по време на технологичния процес;
— Създаване на собствени рецепти със собствен софтуер, които да се свързват със хардуера на оборудването.
II. Обща конфигурация на оборудването
Оборудването трябва да е компактно, позволяващо ръчно и автоматично управление, дистанционна диагностика и пълен мониторинг на процесите. Конфигурацията трябва да включва:
1. Вакуумна камера – двустенна, водоохлаждаема работна камера от неръждаема стомана с:
— Безмаслена изпомпваща система, задължително използваща турбомолекулярна помпа за достигане на необходим базов вакуум;
— Система за измерване на вакуум, използваща Пирани, Пенинг и Баратрон вакуумметри;
2. Държател на образци – система с планетарен механизъм за закрепване на образци (подложки);
3. Източници на разпрашване – странично разположени плоски, правоъгълни разбалансирани магнетрони, с таргети от чисти метали или сплави;
4. Захранване на магнетроните - DC и пулсиращо DC захранване;
5. Захранване, осигуряващо базово напрежение (BIAS) на образците;
6. Система за йонно-плазмено чистене на образците в камерата с използване на аргонови йони;
7. Четири входа за газове със система за контрол;
8. Управление и контрол на процесите - позволяващо пълна автоматизация на оборудването и процеса (заедно със софтуера);
9. Захранване на оборудването – от мрежата 3 х 400 V, 50 Hz.
10. Нагревател на държателя на образците.
III. Оборудването трябва да отговаря на следните технически и функционални характеристики:
1. Минимални технически и функционални характеристики.
— Вакуумна камера – с ефективни размери: диаметър 500700 mm; височина 500700 mm;
— Базов вакуум – не по-нисък от 1x10Е-6 mbar;
— Държател на образците – планетарен механизъм с минимум двуосно въртене;
— Източници на разпрашване- плоски разбалансирани магнетрони не по-малко от два броя;
— Захранване на магнетроните – DC и пулсиращо DC не по-малко от 6kW на всеки магнетрон;
— Захранване на базовото напрежение на образците – не по-малко от 5kW;
— Управление – пълно автоматизирано и компютъризирано управление на оборудването и процесите.
2. Допълнителни технически и функционални характеристики:
— Нагревателят на държателя на образците трябва да осигурява температура не по-ниска от 200оС без включени източници на разпрашване.
IV. Условия на доставка
1. Доставчикът извършва монтаж, инсталация и настройка на доставеното оборудване на адреса на Възложителя.
2. Доставчикът обучава персонал на Възложителя, необходим за безопасна манипулация и експлоатация на оборудването.
3. Доставчикът осигурява поддръжка чрез гаранционен и извънгаранционен сервиз.

Краен срок
Срокът за получаване на офертите беше 2014-06-04. Обществената поръчка беше публикувана на 2014-04-25.

Доставчици
Следните доставчици са споменати в решенията за възлагане или в други документи за обществени поръчки:

• • „Тиир Куотинг“ ООД

Кой?

• • Централна лаборатория по приложна физика към БАН

Какво?

• • Микроелектронни машини и уреди и микросистеми › Микроелектронни машини и уреди

Къде?

• • Южен централен › Пловдив